Product Information
产品概述
颗粒尺寸与分布验证
用于颗粒检测设备校准与性能验证,可按颗粒材质、尺寸、数量、位置和分布方式进行设计。
技术特点
- 支持聚苯乙烯乳胶颗粒与二氧化硅颗粒
- 支持均匀分布、定点分布与多点图案化分布
- 支持颗粒数量范围与晶圆区域定制
- 重视分散效果与团聚控制
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典型产品与参数
| 典型型号 | 颗粒类型 | 资料所示规格 | 适用方向 |
|---|---|---|---|
| SGW9101-PSL | 聚苯乙烯乳胶颗粒 | 颗粒尺寸覆盖多种规格;数量分布 1000–20000 颗 | 表面扫描系列设备、颗粒检测与污染分析 |
| 定制颗粒标准片 | 聚苯乙烯乳胶颗粒 / 二氧化硅颗粒 | 尺寸、数量、位置与图案化分布按需求设计 | 设备研发、校准、验收与稳定性验证 |
颗粒尺寸、数量、分布均匀性和校准证书要求需要在项目开始前明确。
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适用设备与场景
表面扫描设备验证不同颗粒尺寸的检测响应和统计能力。
颗粒检测设备用于颗粒数量、尺寸分档和位置分布测试。
表面污染分析系统用于污染响应、设备间比对和日常核查。
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产品与检测图示


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