Product Information
产品概述
面向设备校准与性能验证
该产品用于自动光学检测设备与图形检测系统的校准和性能验证。可结合不同检测光源，对缺陷结构、膜层组合与光学响应进行适配设计。
技术特点
- 支持多类型缺陷组合与版图布局
- 支持明场、暗场及多光源检测适配
- 支持膜层结构和光学对比度优化
- 支持按客户设备与检测目标开展定制
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典型产品与参数
| 典型型号 | 产品定位 | 资料所示参数 | 适用方向 |
|---|---|---|---|
| SGW5001 | 主流产品 | 光学对比度大于 150；缺陷覆盖 200 nm–50 μm | 主流自动光学检测与图形检测设备 |
| SGW5002 | 先进工艺 | 光学对比度大于 130；缺陷覆盖 20 nm–500 nm | 小尺寸缺陷检测与先进工艺验证 |
具体对比度、缺陷尺寸、膜层结构与检测结果取决于设备光源、光学系统和最终技术方案。
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适用设备与场景
自动光学检测设备用于设备标定、缺陷响应验证和重复性测试。
图形检测系统用于图形区域、缺陷位置与版图响应测试。
前道工艺缺陷检测服务工艺研发、设备调试和客户验收。
明场与暗场检测设备根据照明方式与检测波长调整样片结构。
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产品与检测图示
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