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产品概述
高精度结构尺寸标准
用于关键尺寸扫描电子显微镜与关键尺寸量测设备校准，实现线宽、间距和周期结构的高精度尺寸参考。
核心工艺方向
- 支持线宽、间距、周期等结构类型
- 支持多种样品安装与量测区域设计
- 支持高精度结构加工与共面结构设计
- 适用于设备校准、验收与工艺尺寸比对
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典型产品与参数
| 典型型号 | 标准结构 | 尺寸精度 | 应用领域 |
|---|---|---|---|
| SGWC101 | 资料示例为 100 nm 标准结构 | 资料示例为 ±1 nm | 关键尺寸扫描电子显微镜校准、线宽检测与工艺尺寸校准 |
资料中展示最小结构尺寸 14 nm。实际可交付结构、测量不确定度与证书内容需按项目确认。
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适用设备与场景
关键尺寸扫描电子显微镜用于倍率、线宽与结构尺寸量测校准。
线宽检测设备用于线宽、间距与周期结构的量测验证。
工艺尺寸校准系统服务研发调试、设备间比对与客户验收。
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产品与检测图示
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